五氟化鉭（TaF5），相對分子量為276，熔點為96.8℃，沸點為229.5℃，是一種白色結晶，折光能力強。五氟化鉭微溶于熱的二硫化碳和四氯化碳溶液中，溶于水和乙醚、氫氟酸、硝酸、發煙硝酸，在空氣中吸濕而不水解。高純五氟化鉭在微電子工業中用作化學氣相淀積硅化鉭或鉭膜，制作低電阻、高熔點的電路互連線和柵極。五氟化鉭在電子元器件表面、半導體器件表面、鈦及金屬氮化物電極表面、金屬鎢表面上，可形成附著力極強、厚度為0.1μm級的絕緣薄膜，具有高的介電率。

產品指標

產品用途：

五氟化鉭在電子工業中用作化學氣相淀積硅化鉭或鉭膜，制作低電阻、高熔點的電路互連線和柵極。

包裝方式：

一般采用四氟瓶包裝。