高純四氟化硅 CAS#: 7783-61-1

四氟化硅（SiF4），又稱氟化硅，分子式為SiF4，分子量為104.06，是一種無色、有毒、有刺激性臭味的氣體。四氟化硅易潮解，在潮濕空氣中可產生濃煙霧。四氟化硅溶于乙醇、醚、硝酸、氫氟酸，吸濕性非常強，加壓下變成液體，在電子行業中，四氟化硅有著廣泛的應用。

產品指標

產品用途：

四氟化硅在電子行業中主要用作氮化硅、硅化鉭等的P型摻雜劑、蝕刻劑及外延沉積擴散硅源等，還可用于制備電子級硅烷或硅。此外，四氟化硅可用于制備太陽能電池、氟硅酸和氟化硅、水泥和人造大理石的硬化劑。    

包裝、貯存：

四氟化硅充裝在鋼質無縫氣瓶中，鋼瓶容積分別為8 L、44 L、47 L。具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。四氟化硅儲存于陰涼、干燥、通風良好的庫房中，遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃，儲區應備有泄漏應急處理設備。