六氟化鉬 CAS#: 7783-77-9

低溫下為白色結晶固體，吸濕性大，在潮濕空氣中產生藍煙，是一種強氧化劑。在空氣中允許極限濃度(TLV)為5mg/m3。產品用鋼瓶充裝，按有毒氣體貯運。

產品指標：

產品用途：

六氟化鉬的主要應用領域是在微電子工業中用化學氣相沉積硅化鉬或鉬，以制作低電阻、高熔點的互連線，也可用作強氟化劑、成膜材料及離子摻雜劑，還可用于鉬同位素分離。 

產品貯存：

六氟化鉬儲存干陰涼、干燥、通風良好的庫房中，遠離火種、熱源。儲區應備有泄漏應急處理設備。